村田开发面向工业设备的数字三轴MEMS加速度传感器SCA3400系列 - 业内居先，长期使用下传感器输出变化值仍可控制在0.5mg以下

• 偏移寿命漂移值业内居先，低于0.5mg。

• 低噪声，能够准确检测微小动作。

• 具备良好的抗振动和抗温度变化能力，可在恶劣环境下稳定运行。

• 配备可实时监控传感器状态的自诊断功能。

• 与村田以往产品采用相同尺寸和输出方式，便于客户减少额外设计工时。

株式会社村田制作所 (TOKYO:6981)（以下简称“村田”）开发出了面向工业设备的数字三轴MEMS(1)加速度传感器“SCA3400系列”（以下简称“本产品”）。本产品在长期使用下的传感器输出变化值（偏移寿命漂移(2)）低于0.5mg（毫伽），属于业内居先水平(3)。本产品具备高度耐久性，有助于提升桥梁、建筑等结构物劣化监测设备的可靠性。预计将于2025年10月开始量产。

(1) MEMS（微型电子机械系统）：通过对硅片等材料的精细加工，制造出传感器结构和电子电路的技术。

(2) 偏移寿命漂移：指传感器在使用期间输出数值发生偏移的现象。该数值越高，偏移越大。

(3) 数据来源：村田，截至2025年6月23日。

随着工业设备的数字化，自动检测结构物和机械设备等异常或损伤、实现预测性维护的需求不断增长。通过传感器进行变化检测是实现自动化的重要方式之一。尤其在对桥梁、建筑等进行结构健康监测时，需要进行长期监控，因此，能够准确捕捉结构物微小形变或变化的加速度传感器性能，会直接影响整个监测系统的可靠性。然而，传统能够检测细微倾斜的高精度加速度传感器，其偏移寿命漂移值较高，使用时间一长，基准位置偏移就会增大，导致难以准确监测结构物的劣化。

对此，村田通过自主研发的MEMS工艺与新型电路设计，开发出了既可检测微小倾斜、又将偏移寿命漂移值控制在0.5mg以下的本产品。借此，有助于提升结构健康监测等系统的长期高精度测量能力。本产品还具备出众的抗振动和抗温度变化能力，即使在恶劣环境下的工业设备中，也可实现长期稳定使用。

今后，村田将继续致力于高精度加速度传感器的研发，满足多样化的市场需求。

主要特点

偏移寿命漂移值业内居先，低于0.5mg。

低噪声，能够准确检测微小动作。

具备良好的抗振动和抗温度变化能力，可在恶劣环境下稳定运行。

配备可实时监控传感器状态的自诊断功能。

与村田以往产品采用相同尺寸和输出方式，便于客户减少额外设计工时。

主要参数

尺寸（长×宽×高）

8.6 x 7.6 x 3.3 mm

工作温度范围

-40℃ ~ +85°C

加速度测量范围

±1.2g, ±2.4g （可选）

灵敏度

15,000 LSB/g

噪声密度

20 µg/√Hz

偏移寿命漂移（典型值）

≤ 0.5mg (X,Y), ≤ 2mg (Z)

灵敏度寿命漂移（典型值）

±0.02 % (X,Y), ±0.2% (Z)

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关于村田制作所

村田制作所是一家全球性的综合电子元器件制造商，主要从事以陶瓷为基础的电子元器件的开发、生产和销售业务。致力于通过自身开发积累的材料开发、工艺开发、商品设计、生产技术以及对它们提供支持的软件和分析评估等技术基础，创造独特产品，为电子社会的发展做出贡献。